反渗透(膜分离)技术的应用使**纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器、混合近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术,则是**纯水制造技术的一次革命,从此进入了一个*再生化学品,而能生产出高达18MΩ·CM的**纯水,用于半导体、集成电路等行业。
1、预处理→反渗透→纯化水箱→离子交换器→紫外灯→纯水泵→用水点;
2、预处理→一级反渗透→二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯化水箱→纯水泵→紫外灯→用水点;
3、预处理→反渗透→中间水箱→中间水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外灯→用水点;
4、预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOCUV装置→抛光混床→超滤装置→用水点。
水质符合美国ASTM标准,电子部**纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)。
反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来,方向与渗透方向相反,可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。反渗透膜的主要分离对象是溶液中的离子范围。
反渗透法分离过程有如下优点:
①不需加热、没有相变;
②能耗少;过程连续稳定;
③设备体积小、操作简单,适应性强;
④对环境不产生污染。
反渗透纯水系统根据不同的源水水质采用不同的工艺。一般自来水经一级反渗透系统处理后,产水电导率<10-20μS/cm,经二级反渗透系统后产水电导率<5μS/cm甚至更低,在反渗透系统后辅以离子交换设备或EDI设备可以制备**纯水,使电阻率高达18兆欧姆.厘米)。反渗透膜老化或受污染后,产水质量会下降。